真空閥門(mén)是指在真空系統(tǒng)中，用來(lái)改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門(mén)關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來(lái)密封的。

 

真空閥門(mén)的分類：

 

1、根據(jù)工作壓力有低真空閥門(mén)、高真空閥門(mén)和超高真空閥門(mén)。

2、根據(jù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)有蝶閥、球閥、隔膜閥、擋板閥、插板閥、角閥、直通閥、三通閥。

3、根據(jù)傳動(dòng)原理有手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)、電磁。一般氣動(dòng)是電磁先導(dǎo)、氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過(guò)程，也可用手控制先導(dǎo)閥氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過(guò)程。電動(dòng)為手、電兩用，當(dāng)停電時(shí)可用手動(dòng)進(jìn)行操作。

4、根據(jù)材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門(mén)。

5、根據(jù)動(dòng)密封的材料也可分金屬密封和非金屬密封閥門(mén)。軸封用O形橡膠圈一般真空動(dòng)密封的漏率為10-4Pa.L/S，在軸運(yùn)動(dòng)過(guò)程中真空度不高，可用于要求不高的高真空條件下使用；軸封為金屬波紋管密封，其漏率為10-7Pa.L/S,適用于超高真空條件下使用。